1.簡介
        潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過，在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64位儲存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。
2.按受控粒子的性質(zhì)劃分
        （1）工業(yè)潔凈室：受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
        （2）生物潔凈室：受控粒子為生物粒子的潔凈室。
3.實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
        潔凈室要達(dá)到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 ：
        （1） 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用高效或亞高效過濾器（潔凈級別低時(shí)）作為終端過濾器，對進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行最后一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
        （2） 根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
        （3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
        （4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。

4.潔凈室氣流組織考慮原則
        （1） 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時(shí)，選用亂流流型。
        （2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
        （3） 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
        （4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
        （5） 工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
        （6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí)，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
        （7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。
5.潔凈室設(shè)計(jì)對生產(chǎn)工藝的要求
        （1） 潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。因此，在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是，其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求，控制凈化面積，縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍，嚴(yán)格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。
        （2）在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè)，把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。